【微細露光で未来を切り拓く】【23卒】 キヤノン Fitting Canon Online ～キヤノンのビジネスを体感しよう～の通過ES(エントリーシート) No.74517（埼玉大学大学院/男性）（2022/4/25公開）

私は現在、電界効果スピントランジスタ作製を目的として研究に取り組んでいます。電界効果トランジスタとは、ゲート電圧に電圧を加えることでチャネル領域に生じる電界によって電流を制御するトランジスタであります。主に増幅作用とスイッチングの役割を果たします。このトランジスタにスピン偏極した電子を注入することで、大きな電圧をかけなくとも、スピンを反転するだけの少ない電圧で電流を制御することができます。現時点では、私はマスクレス露光機を使用し、目的の回路パターンを得るためのプロセス確立を行っています。本研究で使用するマスクレス露光機は顕微鏡部とプロジェクター部から構成され、その名のとおりガラスマスクが不要であります。露光機の光源は白色LEDでありますが、その照度はわかっていないこと、顕微鏡のステージ上で作業を行うため位置合わせが定型化できないことから、露光操作の条件出しに苦労しています。 続きを読む

私は自身の研究で露光装置に触れる機会があり、微細なパターニングを施すことが可能な点に大変興味を持ちました。そこで、半導体露光装置の設計・開発に携わりたいと考えています。露光装置について調べていく中で、貴社が国内初の半導体露光装置を開発したことを知り興味を持ちました。貴社の仕事紹介動画にて露光装置には、光学・高速制御・ソフトウェア・高精度位置決め技術が使われていることを教えていただきました。特に高精度位置決め技術では、微細な回路パターンを露光するために、数十ナノメートルの移動精度が必要であることには驚きました。これを実現するために露光装置のウエハーステージを空気圧で浮上させ、摩擦をなくしていることは光学の知識だけではなく、様々な知識が必要であることを感じました。そこで、インターンシップにて間近で装置の技術を教わることで、半導体露光装置の設計・開発にはどのような知識が必要であるのかを学びたいです。また、露光装置で使用される光源の短波長化に限界に近付いていることから、貴社は新たな技術として低コストで微細化を実現するNILを追及しています。私は、NILについての知識が不十分であるので、NIL露光装置の技術を教わることで最先端技術の理解が深まると考えています。また貴社でのインターン経験は装置技術の理解だけでなく、最先端に挑戦する考え方や働き方を生で感じられる機会であると考えています。 続きを読む