【微細化技術の未来を拓く】【17卒】 キヤノン 技術職（機械系）の通過ES(エントリーシート) No.8114（東北大学大学院/男性）（2016/8/18公開）

　ナノインプリントリソグラフィ(NIL)の技術開発に携わることで、半導体のさらなる微細化を成し遂げていきたいと考えています。従来、半導体産業において光源の短波長化による微細化に技術的な限界が訪れたといわれていますが、これに対して貴社はNILという最先端の微細加工技術によってその壁を乗り越え、さらなる微細化に挑戦しようとしています。これにより、半導体加工において微細化による性能向上と低コスト化を実現することが期待され、半導体産業に画期的な進歩をもたらす可能性が秘められていると思います。 　私は現在、波長選択スイッチの開発に取り組んでおり、フォトリソグラフィやエッチング等の半導体加工プロセスにて、どのようにすればつくることができるのかを日々、考え開発を進めてきました。そこで非常に微細なパターンを形成させることに苦労しましたが、試行錯誤を繰り返したことでそのパターンの形成が成功したときに大きなやりがいを実感しました。ここで培われた半導体加工のノウハウや技術を最大限に活かすことで、半導体の技術革新に携わり、世界の半導体産業を大きくリードしていく技術者として活躍していきたいと考えています。 続きを読む

　ボート大会に研究室でチームを組んで上位入賞を果たした経験があります。私は、研究室のメンバーと親睦を深めようと考え、大会への出場を企画しました。ここで、久しぶりに運動した後の身体への影響とメンバーの都合に配慮し、一人一人と練習日程について話し合いマネジメントを行いました。その結果、優勝を勝ち取ることができました。この経験から、最適なチームワークを発揮することで大きな結果に繋がることを学びました。 続きを読む

ＭＥＭＳグレーティングを用いた波長選択スイッチの開発 続きを読む

　現在、微小電気機械システム（ＭＥＭＳ）を波長選択スイッチに応用する研究に取り組んでいます。光通信において光の方向制御を行う波長選択スイッチのミラー部の表面形状をブラインドのような形状にすることで、光通信の高速化と低消費電力化を目指します。この形状のＭＥＭＳグレーティングを用いることにより、従来よりも優れた波長選択スイッチを開発できることに魅力を感じ、本テーマを選びました。先行研究で当該デバイスを製作しましたが、デバイス表面にたわみが発生し、光の精密な方向制御が困難であるという課題があります。 　そこで本研究では、たわみの原因となる残留応力を評価するためのデバイスを製作し、製作条件の最適化を図ります。この製作を進めていく中でエッチングという加工を行いますが、その加工によりデバイスが損傷を受けるという問題に直面しました。ここで、保護膜を塗布すれば損傷を防ぐことができると考え製作した結果、デバイスへの影響を防ぐことに成功しました。この経験から、新たな壁を乗り越えるためのアプローチとして、解決の糸口を探る技術力が培われたと思います。今後はデバイスを完成させ、残留応力を評価する予定です。 続きを読む

　学部時代、金属材料のナノ構造体である金属ナノコイル（ＮＣ）ウェブの質量を水晶振動子という計測センサで計測する研究（企業との共同研究）に取り組みました。金属ＮＣウェブの質量を知ることで有害な電磁波を吸収できる材料としての有用性を示す可能性があることに魅力を感じ、本テーマを選びました。 　しかし、実験の当初は研究に勤しんでも全く測定結果が出せず非常に苦労しました。そこで約１ヶ月の間、平日・休日を問わずに食事・睡眠以外の時間を全て研究に注ぎました。研究室のメンバーと何度も議論し、測定できない原因をショートと分析しました。このショートを防ぐため、計測センサに絶縁膜を製膜し、質量計測に臨みました。特に、金属ＮＣウェブの質量は非常に軽いため、計測センサの上に乗せてもどこかへ飛んでいってしまうことがあり、計測に苦労しました。この問題を解決するため、計測対象を固定させる実験器具を自作し、その器具を用いて計測センサに定着させる工夫を行った結果、遂に所望の計測結果を得ることができました。最終的にこの成果を共同研究先の企業に提供でき、粘り強さとチームにおける協調性が培われたと思います。 続きを読む